NTJ20 最大臂展1067.2 mm开云手机官网入口(中国)开云有限公司分类晶圆搬运开云手机官网入口(中国)开云有限公司安装方法地面系列NTJ 系列 通过独有的驱动构造,实现高精度且流畅的动作。 ・单手臂双手 ・Z轴行程范围:0~470mm ・End Effector类型:真空吸附/边缘夹持 ・对应晶圆尺寸:8英寸、12英寸 ・对应FOUP数:最多3FOUP 应用分类晶圆搬运支持的控制器F60